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德国微电子与纳米电子学领域权威专家的合作
发布时间: 2009-06-22 发布人: liunianfeng广州科技成果网
信息类别: 所属单位: 广州科技成果网
应用行业: 电子 项目阶段: 技术转让,合作开发,其他
所属技术领域: 电子信息 成果形式: 发布
融资额度(万元): 成果转化方式: 技术转让,合作开发,其他电子
商业计划书: 成交状态: 发布
成果评估:    
项目简介:

广州科技成果转化平台与德国专家朗诺勒博士建立了长期合作关系,朗诺勒博士是微电子与纳米电子学领域的权威专家。在纳米结构、纳米装置、微机电系统、近端纳米探针离子投影光刻、半导体分析、真空微电子、固体气相反应半导体和设备、红外线传感器/驱动器和嵌入式系统等领域都有突出贡献。我市企业事业单位如有技术需求或合作之需要,如:技术指导、讲座、专利合作或邀请参与项目技术的开发等,平台可牵线搭桥。如有需求,请联系广州科技成果网。

朗诺勒博士是德国伊尔梅瑙工业大学微电子与纳米电子学研究所主任在纳米技术和红外科学方面经验丰富,是欧洲与美国众多科研机构期刊的权威评论,组织过多次国际会议。他出版了300多本出版物,获得了31项专利。

获得的主要奖项

2000  获得艾尔塞维尔最佳科学展示奖,

2005  获得基诺创新奖,

2006  获得北黑塞贡献奖。

 主要专著

1.    《硅的深蚀刻》,1996

2.    《光刻与反应离子刻蚀》,1998

3.    《微型机械部件的制造流程》,1999

4.    《微电子系统的先进技术》,2001

5.    Herstellung von Leiterbahnen und Reduktion von Bahnwiderst?nden in h?chstintegrierten Bauelementen》(德语),1991

6.    《论文:高纵横比干法刻蚀的关键问题》,2002. 

主要专利及专利申请

编号

专利名称

备注

1

基板表面处理的构建装置

德国、欧盟、美国、日本

2

高分辨率扫描热探针与其制造方法

德国

3

设备检测的相互作用

德国

4

微型结构器件的制造方法

德国

5

微型结构器件的制造

德国

6

高分辨率与高吞吐率的无掩膜光刻运行方法

德国

7

红外传感器

德国

8

带有铁/铬氧化物薄膜的优质光罩基板

德国

9

离子源的槽孔提取系统

德国

10

碳射频溅镀机的沉积过程

德国

11

硅膜及其制作方法

德国

12

模板掩膜的制作方法

德国

 

项目实施后可取得的效果: 技术指导、讲座、专利合作或邀请参与项目技术的开发
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